

Semiconductor
QI-Hyperspectral 5M 3.4x F5.6/31은 반도체 웨이퍼 정렬과 TC 본더 검사에 특화된 고정밀 광학 렌즈입니다.
미세 정렬이 요구되는 공정에서도 빠르고 정확한 초점 조절이 가능하며, 다양한 검사 조건에서도 일관된 품질을 유지해 오류 발생을 최소화합니다.
복잡한 제조 환경에서도 높은 신뢰성과 내구성을 발휘하여 작업 시간을 단축시키고, 정밀도와 생산성을 동시에 확보할 수 있습니다.
5M / 3.45μm 하이퍼스펙트럴 카메라 용 설계
3.4배 확대에 특화
420nm~1600nm 파장 범위에 최적화
회절 한계 설계
동축 조명 호환 설계
반도체 웨이퍼 검사
MEMS와 실리콘 웨이퍼 정렬
실리콘 웨이퍼 간 정렬 (TC 본더, 하이브리드 본더)
항목 | 사양 | 비고 |
---|---|---|
센서 | 5M | 3.45μm, 2592 x 2056 |
최대 센서 크기 | 11.4mm | |
확대 배율 | x3.4 | |
유효 초점 거리 | 31mm | |
F/# | F1.67/F5.6 | |
NA | 0.3 / 0.089 | |
시야(FOV) | 2.63 x 2.09 | |
픽셀 해상도 | 1.0μm | |
초점 심도 | 7μm | |
총 길이 | 180mm | |
물체 거리 | 5mm | |
이미지 거리 | 16mm | |
왜곡 | <0.05% | |
파장 | 420-1600nm | 모든 파장 가중치 = 1 |
광학 유형 | 하이퍼스펙트럴 |