사례 #1 · 광학 관측 ↔ 단면 절단 대조
- 위쪽은 반사식 복합 광학계로 촬영한 이미지, 아래쪽은 같은 시료를 실제로 절단해 촬영한 단면 사진입니다.
- 홀의 배열과 내벽 형상이 단면 사진과 같은 형태로 나타납니다.
사업 영역
(TGV) 관통홀 검사
(TGV) 관통홀 검사
QI-16K 1.43x F8/EFL110 렌즈는 16K 라인 스캔 카메라와 완벽히 호환되는 고정밀 렌즈이며, QI-61M 1.43x F6.5/EFL79.3 렌즈는 61M/65M area 카메라와 호환되는 고정밀 렌즈로서 평판 디스플레이 패널과 TGV(Through Glass Via) 공정에서 미세 결함까지 빠르고 정확하게 검출합니다. 고해상도 이미징을 통해 불량률을 낮추고, 생산 라인의 정밀도를 높입니다.
MEASUREMENT VALIDATION
측정 검증
동일한 TGV 시료를 반사식 복합 광학계로 비파괴 관측하고, 실제 단면 절단 사진과 FIB-SEM 이미지를 기준으로 관측 결과가 일치하는지 교차 검증했습니다.
※ 현재 도판은 화면 배치와 확대 기능을 확인하기 위한 샘플입니다. 실제 촬영본으로 교체될 예정입니다.
레트로 쉴러린 + 샤임플러그 복합 광학 기술로 홀 내벽의 형상을 비파괴로 관측하고, 실제로 잘라낸 단면 사진과 나란히 대조했습니다.
사례 #2 · 모래시계 형상 관측
- 허리가 잘록한 모래시계 형상이 광학 관측과 단면 사진 양쪽에서 동일하게 확인됩니다.
- 시료를 절단하지 않고도 홀 내벽의 형상을 파악할 수 있음을 보여줍니다.
계측 방식별 특성 비교
| 항목 | 복합 광학계 (RC) | Lensless 광학계 (LC) | FIB-SEM |
|---|---|---|---|
| 관측 항목 | 굴절율 및 형태 변화 | 외경 / 내경 관찰 | 측면 형태 변화 |
| 장점 | 형상 및 굴절율 변화를 모두 계측 가능 | 형상이 일정하고 내경이 크면 측정 정확도가 높음 | 정확한 형태 측정 가능 |
| 한계 | 관측된 변화가 형상에 의한 것인지 굴절율 변화에 의한 것인지 구분이 어려움 | 홀 내경이 매우 작은 경우 일정하게 측정하기 어려움 | 굴절율의 변화는 관측되지 않음 |